سایت مرجع دانلود پایان نامه -پشتیبانی 09199970560

پایان نامه طراحی و شبیه سازی شتاب سنج خازنی میکروماشینی با دو درجه آزادی

ارسال شده در سایت پایان نامه

دانشگاه ارومیه

دانشکده فنی مهندسی

پایان نامه جهت دریافت درجه کارشناسی ارشد

گروه مهندسی برق

طراحی و شبیه سازی شتاب سنج خازنی میکروماشینی با دو درجه آزادی

برای رعایت حریم خصوصی اسامی استاد راهنما،استاد مشاور و نگارنده درج نمی شود

تکه هایی از متن به عنوان نمونه : (ممکن است هنگام انتقال از فایل اصلی به داخل سایت بعضی متون به هم بریزد یا بعضی نمادها و اشکال درج نشود ولی در فایل دانلودی همه چیز مرتب و کامل است)

چکیده

هدف از انجام این پایان نامه طراحی و شبیه سازی یک شتاب سنج خازنی میکروماشینی با دو درجه آزادی میباشد. کاربرد شتاب سنج طراحی شده در صنایع اتومبیل سازی می باشد. با ارائه دو ایده جدید برای از بین بردن تداخل محورها (cross axis sensitivity)، شتاب در دو جهت افقی و عمودی اندازه گیری میشود، همچنین در حالتی که شتاب همزمان در دو جهت عمودی و افقی به سیستم اعمال شود شتاب اعمال میشود، شتاب اعمالی در هر جهت به صورت جداگانه و بدون خطا اندازه گیری میشود. نوآوری ارائه شده در این پایان نامه استفاده از یک جرم متحرک برای اندازه گیری شتاب در دو جهت عمودی و افقی می باشد. در ساختار اول محدوده شتاب قابل اندازه گیری در جهت افقی 66g± و در جهت عمودی 30g± می باشد و در ساختار دوم محدوده شتاب قابل اندازه گیری در جهت افقی 65g± و در جهت عمودی 27g± می باشد. اندازه ساختار اول 1.16μm2 و اندازه ساختار دوم 1.5μm2 می باشد. در پروسه ساخت هر دو ساختار پیشنهادی از میکروماشین کاری سطحی استفاده شده است. نویز مکانیکی در روش ارائه شده Hz/0.35μg و در روش دوم Hz/0.31μg می باشد. برای طراحی و شبیه سازی شتاب سنج از نرم افزار Intellisuite استفاده شده است.

یکی از دو روش ارائه شده برای رفع مشکل تداخل محورها به دلیل ساده بودن پروسه ساخت آن در مرکز میکروماشین ارومیه در حال ساخت میباشد و بیش از 80 درصد ساخت سنسور به اتمام رسیده است.

فصل اول: مقدمه ای بر تکنولوژی میکروماشین

1-1- مقدمه

در این فصل مقدمه ای بر تکنولوژی میکروماشین، تاریخچه ، روشها و پروسه های رایج در این صنعت و بازار فروش قطعات و سیستم های ساخته شده با این تکنولوژی تحت عنوان (Micro Electro Mechanical System (MEMS توضیح داده می شود.

1-2-1- سیستمهای میکرو الکترو مکانیکی (MEMS)

MEMS مخفف Micro Electro Mechanical System و ریشه آمریکایی دارد. در اروپا به (MST(Micro System Technology و در ژاپن به Micro Mechanic معروف است. معادل فارسی آن سیستم های میکروالکترومکانیکی میباشد. سیستم های الکتریکی فقط با سیگنال  های الکتریکی سرو کار دارند، اگر این سیستمها کار مکانیکی هم انجام دهند سیستم الکترومکانیکی نامیده میشوند. حال اگر ابعاد آن به محدوده میکرومتر برسد سیستم های میکرو الکترومکانیکی خوانده میشوند.

سیستم های MEMS حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حس کننده ها، محرکها و قطعات الکترونیکی بر روی یک لایه سیلیکون میباشد. مدارات مجتمع را می توان مغز متفکر سیستم در نظر گرفت و MEMS با اضافه کردن چشم و بازو این قدرت تفکر را توسعه می دهد تا میکروسیستم ها بتوانند محیط اطرافشان را حس و کنترل نمایند، این حسگرها اطلاعات مکانیکی، گرمایی، مغناطیسی، نوری و … را از محیط جمع آوری کرده و مدار مجتمع پس از دریافت اطلاعات از حسگر دستوراتی همچون جابجایی، فیلتر کردن و… را جهت کنترل فرآیند صادر میکند.

MEMS به عنوان یکی از تکنولوژی های برتر قرن 21 به شمار می رود که پتانسیل لازم برای متحول ساختن تولیدات مصرفی و صنعتی را دارد. اگر microfabrication نیمه هادی ها را به عنوان اولین انقلاب در تولیدات میکرو در نظر بگیریم، بدون شک MEMS دومین انقلاب در این زمینه است.

یک قطعه MEMS شامل قسمت های زیر است:

1- سنسور که اطلاعات را از دنیای بیرون دریافت و به سیگنال های الکتریکی تبدیل می کند.

2- مدار ااکتریکی که این سیگنال ورودی را پردازش می کند.

3- راه انداز (actuator) که به سیستم مکانیکی دستور می دهد چه کاری انجام دهد.

قطعات الکترونیکی با استفاده از تکنولوژی ساخت مدارات مجتمع ساخته می شوند و عناصر میکروماشین شده با استفاده از فرآیندهای micromachining ساخته می شوند، MEMS با ترکیب این دو تکنولوژی امکان ایجاد یک سیستم کامل را روی یک تراشه فراهم ساخته است و فضای طراحی و کاربرد را بسط داده است.

مزایای سنسورهای MEMS نسبت به سنسورهای مکانیکی عبارتند از:

1- سایز کوچکتر 2- ارزان تر 3- دقیق تر 4- قابل اعتمادتر 5- یکپارچه سازی قسمت حسگر و پردازشگر.

بعنوان یک نمونه می توان به شتاب سنج های مکانیکی استفاده شده در صنعت خودروسازی اشاره کرد، در روش مکانیکی از چندین شتاب سنج حجیم که شامل اجزای مختلف هستند در قسمت جلویی خودرو استفاده می شود ولی قسمت های الکترونیکی در نزدیکی کیسه هوا قرار دارند وقیمت مجموعه بالغ بر 600 دلار می باشد، با استفاده از تکنولوژی MEMS شتاب سنج و قسمت الکترونیکی با هزینه کمتر از 5 دلار بر روی یک تراشه سیلیکونی تلفیق شده است.

برای دانلود متن کامل پایان نامه اینجا کلیک کنید.

 

مطالب مشابه را هم ببینید

141985615752731

فایل مورد نظر خودتان را پیدا نکردید ؟ نگران نباشید . این صفحه را نبندید ! سایت ما حاوی حجم عظیمی از پایان نامه ، تحقیق ، پروژه و مقالات دانشگاهی در رشته های مختلف است. مطالب مشابه را هم ببینید یا اینکه برای یافتن فایل مورد نظر کافیست از قسمت جستجو استفاده کنید. یا از منوی بالای سایت رشته مورد نظر خود را انتخاب کنید و همه فایل های رشته خودتان را ببینید فروش آرشیو پایان نامه روی دی وی دی

aca@

academicbooks@

پایان نامه رابطه خلاقیت با بهره وری وظایف سازمانی
پایان نامه نيروگاههاي بخاري
پایان نامه رابطه آموزش مهارت های زندگی و افزایش عزت نفس اجتماعی دانش آموزان
دانلود پایان نامه ارتباط رفتار مخاطره جویانه و تنظیم شناختی هیجان
پایان نامه روانشناسی رابطه استرس شغلي و امكانات فيزيكي نامناسب